Bei Reinstmedien zählt jedes noch so kleine Detail.
Wir bauen nach Ihren Vorgaben. Wir verstehen Ihre Wünsche und Bedürfnisse, wenn es um hochreine Medien geht.
Vakuum
Hoch-/Grobvakuumtechnik für alle Arten von CVD oder vergleichbare Industrieprozesse. Lieferung als einzelne Komponenten oder als komplettes, individuell ausgelegtes Vakuumsystem mit Filtern, Partikelfallen, Kühlfallen, Pumpständen und der zugehörigen Automatisierung. Auch in EX-Ausführung verfügbar.
Typische Medien
- Prozessvakuum
Anwendungsbeispiele
- Rohrbauteile nach Kundenwunsch
- Anschluss-Flansche mit und ohne Wasserkühlung
- Zentralvakuumsystem für Spül- und Reinigungsprozesse an Gas-/Flüssigkabinetten etc.
- Grob- über Fein- bis Hochvakuumtechnik für CVD-Prozesse, Sputter- , Plasma- und Thermische Prozesse.
- Hochvakuumpumpstände für die vollautomatische Reinigung und Qualifizierung von Gasflaschen oder vergleichbaren Mediengebinden
Optionen
- Einzelmarkierung der Bauteile
