Bei Reinstmedien zählt jedes noch so kleine Detail.
Wir bauen nach Ihren Vorgaben. Wir verstehen Ihre Wünsche und Bedürfnisse, wenn es um hochreine Medien geht.
Sättiger (Sättigungsverdampfer) / Bubblersysteme
Sättiger- und Bubblersysteme für hochreine Flüssigkeiten (Precursoren). Seit Jahren in der Halbleiter-, Faseroptischen- und Beschichtungsindustrie im Einsatz.
- Unsere Sättiger-/Bubblersysteme ermöglichen Ihnen eine präzise Precursorzufuhr in Ihren Prozess
- Dabei werden prozesskritische Parameter wie z.B. Temperatur, Druck, Füllstand, Flow etc. vollautomatisch geregelt und überwacht
- Optionale Massenregelung und Messung
- Optionale Nachreinigung durch Rezirkulationssysteme
- Typische Precursoren: TCS, SiCl4, GeCl4, PoCl3, TMAl, Trisilan etc.
- Optionale Massenstrommessung und –regelung für optimale Prozesskontrolle und Reproduzierbarkeit
Typische Medien
- Trichlorsilan mit Wasserstoff (TCS in H2) als Trägergas
- Siliciumtetrachlorid in Sauerstoff (SiCl4 mit O2)
- Germaniumtetrachlorid in Sauerstoff (GeCl4 mit O2)
- Phosphoroxichlorid (POCl3 mit O2)
- Trimethylaluminium in Stickstoff (TMA mit N2)
- Trisilan mit Wasserstoff (H8Si3 in H2)
- Wasser mit Sticksoff (H2O in N2)
Anwendungsbeispiele
- Halbleiterindustrie - Epitaxie
Optionen
- Filtration
- WHG-Wanne
- ATEX-konform
- MAK-Überwachung
- Flammensensorik
